IQ+FLOW

氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

基于芯片傳感器

 

設(shè)備生產(chǎn)商們一直在尋找一種更緊湊的氣體流量和壓力測量及控制的方案。在先前，傳統(tǒng)的質(zhì)量流量和壓力計(jì)都需要至少1.5″空間，比如具體到在 NeSSI™ 系統(tǒng)中。如今，Bronkhorst通過與TNO-TPD（荷蘭領(lǐng)先的應(yīng)用物理研究所）的緊密合作，開發(fā)出了一系列高科技的IQ+FLOW® 質(zhì)量流量傳感器。由于采用了納米技術(shù)，使其能夠減少一半的體積，達(dá)到 0.75″, 從而滿足了市場上對(duì)超小型的緊湊流量和壓力控制器的需求。

特征：

• 流量處理范圍從 0.2…10 mln/min 到 0.1…5 ln/min (滿刻度值)
• 超零點(diǎn)穩(wěn)定性（由于使用了帶熱平衡式的芯片傳感器）
• 空間利用率提供
• 性價(jià)比高
• 超速響應(yīng)，可低至300 msec
• 模擬和數(shù)字(RS232 / RS485) 通訊

 

客戶指定設(shè)計(jì)

根據(jù)IQ+FLOW® 系列產(chǎn)品的微系統(tǒng)技術(shù)，Bronkhorst成功開發(fā)緊湊且多功能模塊的超小流量測量產(chǎn)品。

 

分析應(yīng)用實(shí)例

以0.75″超緊湊型模塊為基礎(chǔ)的分析應(yīng)用實(shí)例：

• 氣相色譜儀注入端的流量-壓力控制
• 氣相色譜儀或高效液相色譜儀監(jiān)測端的流量控制
• 火焰離子探測儀的流量控制